수정진동자용 장치
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특 징
도달 진공도: 5 × 10-6Torr이하
Chamber Size: 700W × 600D × 700㎜H
R&D 장치로 도달압력 및 시간 가변 System
특 징
도달 진공도: 140Torr이하
Chamber Size: 1000W × 700D × 1550㎜H
기압 Test를 위한 도달압력 가변System
특 징
도달 진공도: 5 × 10-2Torr이하
Chamber Size: Φ1650 × 1200D
가열 온도: 120℃
제품을 세정 후 진공 건조하는 장치
특 징
도달 진공도: 1 × 10-3Torr이하
Chamber Size: Φ55 × 65㎜H
He Leak Tester를 위한 소형 Size제품에 헬륨을 가압하는 System
특 징
검출 감도: 1 × 10-4~10-12㎩.㎥/s
Chamber Size: Φ100 × 50㎜H
소형 Size제품을 He Leak Tester 하는 System
특 징
검출 감도: 1 × 10-4~10-12㎩.㎥/s
Magnetron Tube의 He Leak Tester System