수정진동자용 장치
전자 부품용 장치
광학용 장치
부품 및 A/S
 
 
 
HOME>>제품소개 >>광학장치


  특 징
  1. 광섬유를 최대 400매까지 처리할 수 있는 대형 배기
  2. 자전과 공전의 전환 기구 사용에 의해 균일한 막두께 분포와 분광 특성을 재현
  3. 밀착성이 유지되면서 저온으로 성막 처리 가능
  4. Touch Panel 조작 기능 (수동 조작, Alarm 확인, Timer 조작)
  5. 유지비가 저렴한 Ion Source를 사용
  6. 자동 증착에 의한 성막 Data의 Logging이 용이
  SPEC.
  1. 장치 개요
    ⑴ 전면 Door 개폐식 배치
⑵ 진공 Chamber: Ф900Х1225㎜H (stainless製)
  2. E/B Gun 증발원
    ⑴ JEBG-102UHO
⑵ JST-10F
⑶ Ф35 도가니 Х 20
  3. 광학 막 두께 측정 ION SOURCE
    ⑴ 광학 모니터 APEX
⑵ 측광 범위 380~2000nm
⑶ Monitor Rotation 기구 Ф30 Monitor Glass Х 20점
  특 징
  1. 완전 자동 증착이 가능
  2. 1500rpm 기판 회전 기구
  3. 레이저 광학 모니터
  4. RF 직접 인가 방식에 의한 Ion 도금 증착
  5. 신형 270 beam 편향에 의한 전자총 증발원 사용
  특 징
  1. Loader부, 증착실, Unloader부의 3 Chamber식
  2. 증착실은 진공 상태를 유지하면서 전자동으로 연속 성막을 할 수 있기 때문에,
  막품질의 안정, 생산성 향상.
  3. 광학 막 두께 제어 시스템을 탑재하여, 작업 순서와의 통신 향상으로 전자동
  증착이 가능
  4. Touch Panel 조작(수동 조작, Alarm 확인, Timer 조작)기능
  특 징
  1. 장치의 정밀도 향상
  2. Door Clamp, Slow Leak 밸브를 채용하여 오염 대책 마련
  3. 장치의 소형화
  4. Utility 관계의 간소화
  5. 고압용 제어부와 계기류 제어부를 분할